作者jeremy1028 (jer)
看板NEMS
標題Re: [問題] 請問該如何改善側壁垂直度
時間Sat Sep 19 21:48:36 2015
是的 ，塗佈完 90-150度 預烤 2-15分，顯影完就是梯型，jsr121 126n 等多家負光阻都
會這樣，
http://i.imgur.com/7iM8AHh.jpg
這比較不明顯
http://i.imgur.com/LKz5YCK.jpg
這明顯，線周圍黑色是斜面
但蝕刻完是正常的 ，
http://i.imgur.com/YfcUJRM.jpg
所以想請教 是否有參數可改善 謝謝
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