作者jeremy1028 (jer)
看板NEMS
标题Re: [问题] 请问该如何改善侧壁垂直度
时间Sat Sep 19 21:48:36 2015
是的 ，涂布完 90-150度 预烤 2-15分，显影完就是梯型，jsr121 126n 等多家负光阻都
会这样，
http://i.imgur.com/7iM8AHh.jpg
这比较不明显
http://i.imgur.com/LKz5YCK.jpg
这明显，线周围黑色是斜面
但蚀刻完是正常的 ，
http://i.imgur.com/YfcUJRM.jpg
所以想请教 是否有参数可改善 谢谢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 42.72.141.103
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1442670519.A.1A7.html
1F：→ jameskey: 还蛮直的阿 12/25 01:33