作者chetsai (Ivan)
看板NEMS
標題Re: [問題] 請問該如何改善側壁垂直度
時間Sat Sep 19 18:06:34 2015
※ 引述《jeremy1028 (jer)》之銘言：
: 可以請教負光阻在顯影後 線路會行成正梯型 請問有什麼方式可改善? 無特定型號光阻
: 因為有找多款來測試 都有這情況 ，主要希望側面可盡量垂直, 膜厚10-30um ，有那些參
: 數可改善 謝謝
應該跟光阻解析度還有曝光能量比較有關係吧
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