作者chetsai (Ivan)
看板NEMS
标题Re: [问题] 请问该如何改善侧壁垂直度
时间Sat Sep 19 18:06:34 2015
※ 引述《jeremy1028 (jer)》之铭言：
: 可以请教负光阻在显影後 线路会行成正梯型 请问有什麽方式可改善? 无特定型号光阻
: 因为有找多款来测试 都有这情况 ，主要希望侧面可尽量垂直, 膜厚10-30um ，有那些参
: 数可改善 谢谢
应该跟光阻解析度还有曝光能量比较有关系吧
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