作者ss1227yy (yoyo)
看板NEMS
標題[問題] 求AZ4620 膜厚30um黃光參數
時間Wed Jul 22 12:12:07 2015
以下為目前使用參數 想請問是否有更好的參數意見可供調整
旋塗:400rpm 40sec
軟烤:70度 35min 此後加熱至90度時再烤35min
冷卻:30min
曝光:gap 20um time 130sec
顯影:6min
使用的基板為玻璃基板 以上參數做出來為26~27um
想請問是否有玻璃或矽基板的詳細參數可供參考
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