作者ss1227yy (yoyo)
看板NEMS
标题[问题] 求AZ4620 膜厚30um黄光参数
时间Wed Jul 22 12:12:07 2015
以下为目前使用参数 想请问是否有更好的参数意见可供调整
旋涂:400rpm 40sec
软烤:70度 35min 此後加热至90度时再烤35min
冷却:30min
曝光:gap 20um time 130sec
显影:6min
使用的基板为玻璃基板 以上参数做出来为26~27um
想请问是否有玻璃或矽基板的详细参数可供参考
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