作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
標題Re: [問題] 顯影問題
時間Fri Jul 3 01:08:05 2015
http://www.microchemicals.com/technical_information/exposure_photoresist.pdf
原因在第七頁，可以自己看我就不解釋了
這邊的話我只能建議你大幅減少曝光劑量
避免多餘的UV被底下的金反射
應該試的出來
※ 引述《stan8054 (小成)》之銘言：
: 各位版上的專家們好
: 我的實驗是使用kmpr-1050光阻
: 在顯影完拍om和sem發現圖案的地方都無法顯影到底
: 我的圖案是直徑20um的圓
: 我有嘗試增加曝光時間
: 和相同曝光時間不同的顯影時間
: 可是都沒辦法顯影到底
: 因為除了圓形圖案其它圖案都能顯影完全
: 所以不知道是哪個步驟出錯了
: 我有想到的問題是不是因為這個型號的光阻對我的圖案解析度不夠所以無法顯到底
: 我拍sem的厚度是40~50um(不同轉速)
: 想請問版上的專家幫我解答謝謝
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※ 編輯: SkyLark2001 (205.175.118.238), 07/03/2015 03:50:46
※ 編輯: SkyLark2001 (205.175.118.238), 07/03/2015 04:47:35
1F：推 stan8054: 非常感謝 我再去試試減少曝光劑量 07/03 10:42