作者SkyLark2001 ( )
看板NEMS
标题Re: [问题] 显影问题
时间Fri Jul 3 01:08:05 2015
http://www.microchemicals.com/technical_information/exposure_photoresist.pdf
原因在第七页，可以自己看我就不解释了
这边的话我只能建议你大幅减少曝光剂量
避免多余的UV被底下的金反射
应该试的出来
※ 引述《stan8054 (小成)》之铭言：
: 各位版上的专家们好
: 我的实验是使用kmpr-1050光阻
: 在显影完拍om和sem发现图案的地方都无法显影到底
: 我的图案是直径20um的圆
: 我有尝试增加曝光时间
: 和相同曝光时间不同的显影时间
: 可是都没办法显影到底
: 因为除了圆形图案其它图案都能显影完全
: 所以不知道是哪个步骤出错了
: 我有想到的问题是不是因为这个型号的光阻对我的图案解析度不够所以无法显到底
: 我拍sem的厚度是40~50um(不同转速)
: 想请问版上的专家帮我解答谢谢
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※ 编辑: SkyLark2001 (205.175.118.238), 07/03/2015 03:50:46
※ 编辑: SkyLark2001 (205.175.118.238), 07/03/2015 04:47:35
1F：推 stan8054: 非常感谢 我再去试试减少曝光剂量 07/03 10:42