作者stan8054 (小成)
看板NEMS
標題[問題] 顯影問題
時間Thu Jul 2 00:40:47 2015
各位版上的專家們好
我的實驗是使用kmpr-1050光阻
在顯影完拍om和sem發現圖案的地方都無法顯影到底
我的圖案是直徑20um的圓
我有嘗試增加曝光時間
和相同曝光時間不同的顯影時間
可是都沒辦法顯影到底
因為除了圓形圖案其它圖案都能顯影完全
所以不知道是哪個步驟出錯了
我有想到的問題是不是因為這個型號的光阻對我的圖案解析度不夠所以無法顯到底
我拍sem的厚度是40~50um(不同轉速)
想請問版上的專家幫我解答謝謝
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1F：推 SkyLark2001: 你的KMPR是塗佈在什麼東西上方? 07/02 05:42
2F：→ stan8054: 金上 我先在si wafer上蒸鍍金在塗kmpr 07/02 09:43
3F：→ sean25059199: 你如何看有沒有顯到底？是看顏色有無變金色嗎？ 07/02 16:38
4F：→ stan8054: 我有用sem拍 也有電鍍看看 07/02 21:58