作者stan8054 (小成)
看板NEMS
标题[问题] 显影问题
时间Thu Jul 2 00:40:47 2015
各位版上的专家们好
我的实验是使用kmpr-1050光阻
在显影完拍om和sem发现图案的地方都无法显影到底
我的图案是直径20um的圆
我有尝试增加曝光时间
和相同曝光时间不同的显影时间
可是都没办法显影到底
因为除了圆形图案其它图案都能显影完全
所以不知道是哪个步骤出错了
我有想到的问题是不是因为这个型号的光阻对我的图案解析度不够所以无法显到底
我拍sem的厚度是40~50um(不同转速)
想请问版上的专家帮我解答谢谢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 61.231.191.86
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1435768849.A.3EF.html
1F：推 SkyLark2001: 你的KMPR是涂布在什麽东西上方? 07/02 05:42
2F：→ stan8054: 金上 我先在si wafer上蒸镀金在涂kmpr 07/02 09:43
3F：→ sean25059199: 你如何看有没有显到底？是看颜色有无变金色吗？ 07/02 16:38
4F：→ stan8054: 我有用sem拍 也有电镀看看 07/02 21:58