作者snakeofgod (特調冰咖啡)
看板NEMS
標題[問題]光阻 AZ5214的remover AZ 100
時間Thu Jun 18 11:24:31 2015
之前lift-off都是用丙酮
後來有查到說AZ系列有個專用的remover AZ100
不知道版上的大大們有沒有人有用過
看他的說明好像是碰到水會變成鹼性 會傷害到基板?
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2F：→ SkyLark2001: The remover can be mixed with water in any ratio. 06/27 03:15
3F：→ SkyLark2001: A 1 : 1 mixture with water is possible 06/27 03:15
4F：→ SkyLark2001: 正光阻專用的remover很多，AZ還有300T, 400T系列 06/27 03:16
5F：→ SkyLark2001: 以及杜邦的EKC系列。但重點是這類remover 主要用途 06/27 03:17
6F：→ SkyLark2001: 不是拿來幫助lift-off。要改善liftoff還是要治本 06/27 03:17
7F：→ SkyLark2001: 從黃光參數做起 06/27 03:18
8F：→ snakeofgod: 原來如此，感謝解答 06/28 22:55