作者snakeofgod (特调冰咖啡)
看板NEMS
标题[问题]光阻 AZ5214的remover AZ 100
时间Thu Jun 18 11:24:31 2015
之前lift-off都是用丙酮
後来有查到说AZ系列有个专用的remover AZ100
不知道版上的大大们有没有人有用过
看他的说明好像是碰到水会变成硷性 会伤害到基板?
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2F：→ SkyLark2001: The remover can be mixed with water in any ratio. 06/27 03:15
3F：→ SkyLark2001: A 1 : 1 mixture with water is possible 06/27 03:15
4F：→ SkyLark2001: 正光阻专用的remover很多，AZ还有300T, 400T系列 06/27 03:16
5F：→ SkyLark2001: 以及杜邦的EKC系列。但重点是这类remover 主要用途 06/27 03:17
6F：→ SkyLark2001: 不是拿来帮助lift-off。要改善liftoff还是要治本 06/27 03:17
7F：→ SkyLark2001: 从黄光参数做起 06/27 03:18
8F：→ snakeofgod: 原来如此，感谢解答 06/28 22:55