作者ymjdh (低調的地鼠)
看板NEMS
標題[問題] 如何去除E-beam光阻?
時間Fri Jun 12 10:42:29 2015
如題
小弟之前委外作電子束微影
使用的光阻是NEB22-A2
工程師說他那邊都是用乾式去光阻弄掉的
但這樣一來我就必須來回送很多次(現在作一小片就要快一個月了)
在加上我的結構比較脆弱，怕光是運送途中就全毀了
想問一下這類光阻能用Acetone洗掉嗎?
還是有其他種去光阻液?
主要是要進SEM怕被人活活打死......
拜託請幫幫我
謝謝
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※ 編輯: ymjdh (140.135.8.102), 06/12/2015 10:47:40
1F：→ hsnulight: 打O2看看? 06/14 22:20
主要是希望能在自己的實驗室就洗掉，打O2要在委外一次
※ 編輯: ymjdh (140.135.8.97), 06/15/2015 11:16:19
2F：推 mdi12345paul: 你可以洗洗看囉~不然看光阻廠商有沒有之類的藥劑， 06/15 13:45
3F：推 SkyLark2001: 大部分都是可以用acetone去除的，但其實我比較好奇 06/16 02:58
4F：→ SkyLark2001: 是什麼樣的結構，運輸過程容易會，用wet洗不會 XD 06/16 02:58
5F：→ SkyLark2001: 容易"壞" 06/16 02:59
6F：推 NightMoon33: 我只用過PMMA系列的e-beam光阻，可以用ACE洗掉 06/23 23:03
7F：推 brian791213: 之前用過pmma也是丙酮洗，不過有加熱，蠻乾淨的 09/04 20:00