作者ymjdh (低调的地鼠)
看板NEMS
标题[问题] 如何去除E-beam光阻?
时间Fri Jun 12 10:42:29 2015
如题
小弟之前委外作电子束微影
使用的光阻是NEB22-A2
工程师说他那边都是用乾式去光阻弄掉的
但这样一来我就必须来回送很多次(现在作一小片就要快一个月了)
在加上我的结构比较脆弱，怕光是运送途中就全毁了
想问一下这类光阻能用Acetone洗掉吗?
还是有其他种去光阻液?
主要是要进SEM怕被人活活打死......
拜托请帮帮我
谢谢
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※ 编辑: ymjdh (140.135.8.102), 06/12/2015 10:47:40
1F：→ hsnulight: 打O2看看? 06/14 22:20
主要是希望能在自己的实验室就洗掉，打O2要在委外一次
※ 编辑: ymjdh (140.135.8.97), 06/15/2015 11:16:19
2F：推 mdi12345paul: 你可以洗洗看罗~不然看光阻厂商有没有之类的药剂， 06/15 13:45
3F：推 SkyLark2001: 大部分都是可以用acetone去除的，但其实我比较好奇 06/16 02:58
4F：→ SkyLark2001: 是什麽样的结构，运输过程容易会，用wet洗不会 XD 06/16 02:58
5F：→ SkyLark2001: 容易"坏" 06/16 02:59
6F：推 NightMoon33: 我只用过PMMA系列的e-beam光阻，可以用ACE洗掉 06/23 23:03
7F：推 brian791213: 之前用过pmma也是丙酮洗，不过有加热，蛮乾净的 09/04 20:00