作者fzudox (pc)
看板NEMS
標題[問題] 氧電漿黏合玻璃跟pdms問題
時間Thu Jun 4 19:21:01 2015
裝置是將玻璃與塗佈PDMS的玻片黏合製成
以前用電漿打45-55秒就可以黏的很好
放上去時就會很快黏合
最近卻幾乎都無法黏合
打完電漿，把玻璃放上PDMS
雖然看的到有彩色紋路，但是沒有接合的傾向
用重物加壓後有黏合效果，但是會有很多氣泡
整面其實沒有全部黏合
而且加壓後還是可以把玻片凹一下，讓兩者分開
玻璃在打電漿之前，有用硫酸-雙氧水洗過，也用丙酮/酒精超音波
水洗後去打氧電漿的
PDMS玻片在無塵室塗佈完，加熱固化，打電漿之前酒精超音波、水洗
不知道還有甚麼原因會造成無法黏合的情況
請各位幫幫忙Orz
還有一個問題!
有時候打完電漿
玻璃會只有某一部份黏合
如果過了一段時間還是沒有全部黏合
凹了玻片拿起玻璃，PDMS上會有玻璃的痕跡
再拿去沖水可以看到玻璃黏合的位置
請問這種狀況..會影響同一片PDMS玻片的下次黏合嗎?
也就是說，沒黏好的玻片，已有接合痕跡，再拿去打電漿會影響接合嗎?
如果會，有沒有辦法消去那部分的性質呢?(看起來比當初沒黏合的地方親水一些)
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.112.23.59
※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/NEMS/M.1433416864.A.AE7.html
※ 編輯: fzudox (140.112.23.59), 06/04/2015 19:33:53
1F：推 jeffdon2: 請注意一下腔體的真空度，最好維持在6*10^-1torr 06/04 19:57
2F：→ jeffdon2: 真空度太低氧氣尚未作用就被抽離，太高電漿點不著 06/04 19:59
3F：→ fzudox: 打的時候都是在3百多mtorr 06/04 20:12
4F：→ fzudox: 剛去確認了，機台就是會一直抽到接近300mtorr 06/04 22:17
如果打過電漿但是黏不起來的玻璃
拆下後
再去打電漿準備黏下一塊PDMS的話
是有用的嗎? 還是會改質過度而更黏不起來?
※ 編輯: fzudox (111.248.81.209), 06/04/2015 23:08:25
5F：推 jeffdon2: 該片玻璃上如果有殘留PDMS那就沒用了 06/05 12:44
6F：→ jeffdon2: 另外確認一下，玻璃與塗PDMS的玻片都有打氧電漿嗎? 06/05 12:45
玻璃跟PDMS都有打
因為PDMS先用150度C固化過了
玻璃不會沾黏到PDMS
很多次的狀況都是打完電漿
玻璃放上PDMS後都不會有黏合(都不會看到介面顏色變黑、純粹接觸而已)
※ 編輯: fzudox (140.112.23.59), 06/05/2015 21:35:45
7F：推 lockq: 這蠻常發生的 請放一片當ref. 然後打完滴水看接觸角 06/09 22:56
8F：→ lockq: 我用過蠻多氧電漿機台都會有這問題 如果接觸角小一定能接合 06/09 22:56
9F：→ nasa01: PDMS150度固化多久阿 06/14 00:17