作者fzudox (pc)
看板NEMS
标题[问题] 氧电浆黏合玻璃跟pdms问题
时间Thu Jun 4 19:21:01 2015
装置是将玻璃与涂布PDMS的玻片黏合制成
以前用电浆打45-55秒就可以黏的很好
放上去时就会很快黏合
最近却几乎都无法黏合
打完电浆，把玻璃放上PDMS
虽然看的到有彩色纹路，但是没有接合的倾向
用重物加压後有黏合效果，但是会有很多气泡
整面其实没有全部黏合
而且加压後还是可以把玻片凹一下，让两者分开
玻璃在打电浆之前，有用硫酸-双氧水洗过，也用丙酮/酒精超音波
水洗後去打氧电浆的
PDMS玻片在无尘室涂布完，加热固化，打电浆之前酒精超音波、水洗
不知道还有甚麽原因会造成无法黏合的情况
请各位帮帮忙Orz
还有一个问题!
有时候打完电浆
玻璃会只有某一部份黏合
如果过了一段时间还是没有全部黏合
凹了玻片拿起玻璃，PDMS上会有玻璃的痕迹
再拿去冲水可以看到玻璃黏合的位置
请问这种状况..会影响同一片PDMS玻片的下次黏合吗?
也就是说，没黏好的玻片，已有接合痕迹，再拿去打电浆会影响接合吗?
如果会，有没有办法消去那部分的性质呢?(看起来比当初没黏合的地方亲水一些)
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 140.112.23.59
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1433416864.A.AE7.html
※ 编辑: fzudox (140.112.23.59), 06/04/2015 19:33:53
1F：推 jeffdon2: 请注意一下腔体的真空度，最好维持在6*10^-1torr 06/04 19:57
2F：→ jeffdon2: 真空度太低氧气尚未作用就被抽离，太高电浆点不着 06/04 19:59
3F：→ fzudox: 打的时候都是在3百多mtorr 06/04 20:12
4F：→ fzudox: 刚去确认了，机台就是会一直抽到接近300mtorr 06/04 22:17
如果打过电浆但是黏不起来的玻璃
拆下後
再去打电浆准备黏下一块PDMS的话
是有用的吗? 还是会改质过度而更黏不起来?
※ 编辑: fzudox (111.248.81.209), 06/04/2015 23:08:25
5F：推 jeffdon2: 该片玻璃上如果有残留PDMS那就没用了 06/05 12:44
6F：→ jeffdon2: 另外确认一下，玻璃与涂PDMS的玻片都有打氧电浆吗? 06/05 12:45
玻璃跟PDMS都有打
因为PDMS先用150度C固化过了
玻璃不会沾黏到PDMS
很多次的状况都是打完电浆
玻璃放上PDMS後都不会有黏合(都不会看到介面颜色变黑、纯粹接触而已)
※ 编辑: fzudox (140.112.23.59), 06/05/2015 21:35:45
7F：推 lockq: 这蛮常发生的 请放一片当ref. 然後打完滴水看接触角 06/09 22:56
8F：→ lockq: 我用过蛮多氧电浆机台都会有这问题 如果接触角小一定能接合 06/09 22:56
9F：→ nasa01: PDMS150度固化多久阿 06/14 00:17