作者jaychou515 (Hoshiya)
看板NEMS
標題[問題] 顯影後圖形變形
時間Sun May 24 22:55:04 2015
最近剛接觸黃光微影，
遇到了以下問題，想請各位前輩指導一下。
第一次顯影圖形過顯，所以就把光阻洗掉重做。
但之後就發生了圖形變形的情況：
http://i.imgur.com/lnxdYUn.jpg
http://i.imgur.com/dZVncVe.jpg
檢查曝完光的光罩，多了殘留的透明物體：
http://i.imgur.com/vwGFGKw.jpg
http://i.imgur.com/nkLzA9t.jpg
重做很多次都還是發生這種情形，
不曉得有沒有前輩知道原因，謝謝。
P.S. 我是用HMDS+S1813
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1F：推 SkyLark2001: Hard contact 太超過，導致光阻沾黏光罩 05/25 01:16
2F：推 SkyLark2001: 通常也伴隨軟烤溫度過低或時間不足，或是過曝的因素 05/25 01:18
3F：推 SkyLark2001: 證據是這種沾黏只出現在透光的地方 05/25 01:20
4F：推 SkyLark2001: 所以改善方式是以改進軟烤以及曝光參數為主，而不是 05/25 01:22
5F：推 Colula: 如sky所說的，應是光酸反映太多造成氮溢出，加高烤溫與時 05/25 01:23
6F：→ SkyLark2001: 改hard contact, 另外光罩要拿去徹底洗靜 05/25 01:23
7F：→ Colula: 間應可改善 05/25 01:24
8F：推 SkyLark2001: PAG....C 兄是高手喔 05/25 01:27
9F：→ jaychou515: 感謝大家的指導，我加長軟烤時間後解決了這個問題！ 05/25 19:15