作者stan8054 (小成)
看板NEMS
標題[問題] SU8-2025 剝離
時間Sat May 16 12:18:22 2015
想請問各位
我在顯影完用水清顯影液時
我旋塗上的光阻都會剝離被洗掉
附著力很差 就像是膠帶一樣
可以撕起來
我是在Si基板上蒸鍍鉻和金在旋塗光阻上去的
清洗完有先烤200度1小時
軟硬烤是從50度慢慢升到95度再慢慢降到50度
是因為金對su8的附著力不好嗎
請問有什麼方法能讓附著力提高
謝謝各位
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1F：推 s75287: 就是不好...我無解..有沒有強者有解?! 05/16 23:10
2F：→ stan8054: 那想請問AZ的光阻對金也附著不好嗎想先塗一層再曝光2次 05/17 00:50
3F：→ stan8054: 在旋塗上su8曝光顯影 05/17 00:50
4F：→ stan8054: 還想問那su8 az對cr也是一樣嗎? 05/17 00:51
6F：→ SkyLark2001: 可以看底下adhesion那部分 05/19 06:34
7F：→ stan8054: 這篇我有看過我有在金上先旋塗OMNICOAT可是一樣式會剝離 05/19 10:43