作者stan8054 (小成)
看板NEMS
标题[问题] SU8-2025 剥离
时间Sat May 16 12:18:22 2015
想请问各位
我在显影完用水清显影液时
我旋涂上的光阻都会剥离被洗掉
附着力很差 就像是胶带一样
可以撕起来
我是在Si基板上蒸镀铬和金在旋涂光阻上去的
清洗完有先烤200度1小时
软硬烤是从50度慢慢升到95度再慢慢降到50度
是因为金对su8的附着力不好吗
请问有什麽方法能让附着力提高
谢谢各位
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1F：推 s75287: 就是不好...我无解..有没有强者有解?! 05/16 23:10
2F：→ stan8054: 那想请问AZ的光阻对金也附着不好吗想先涂一层再曝光2次 05/17 00:50
3F：→ stan8054: 在旋涂上su8曝光显影 05/17 00:50
4F：→ stan8054: 还想问那su8 az对cr也是一样吗? 05/17 00:51
6F：→ SkyLark2001: 可以看底下adhesion那部分 05/19 06:34
7F：→ stan8054: 这篇我有看过我有在金上先旋涂OMNICOAT可是一样式会剥离 05/19 10:43