作者imsaint (Aitu)
看板NEMS
標題[問題] 請問負光阻 JSR THB-151N
時間Tue Apr 21 11:13:20 2015
請問我在 顯影 THB-151N 時
顯影一超過四分鐘 把 Wafer 拿起來 光阻都被洗掉
雖然有嘗試過加入曝後烤 但長時間顯影下 光阻一樣會掉 不知是何種原因?
參數 :
1. 光阻厚度 : 54 um
2. 軟烤 : 90 度 15 分
3. 曝光 mode : soft contact
4. 曝光時間 : 70 s
5. 曝光劑量 : 約 1000 mJ
6. 顯影劑 : AD 238
這問題困擾很久 謝謝
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1F：推 jeffdon2: 軟考溫度過低，要120度，而且此光阻不需要曝後考 04/21 15:31
2F：→ jeffdon2: SOP上的軟考溫度是130度，但是顯影會不太乾淨 04/21 15:32