作者manf1avor (樹林陳冠希)
看板NEMS
標題[問題] 請教關於AAO陽極氧化鋁製作
時間Fri Feb 6 12:12:36 2015
我想要請教一下各位關於AAO製作的問題
我的製作程序是
我是用Si當基板，接著熱蒸鍍一層Ti再鍍一層Al
鍍率是0.6nm/s 100微米厚 / 0.5nm/s 700微米厚
接著再做500度的退火3小時
但是總是在要做第一次陽極氧化時鍍層就掉光光了
現在觀察到的情況是我用30V時的電流會很大
但我調電壓至10V電流也有0.3A接著也很快地就掉光
之前有用純鋁片30V去做過那時候電流大概是0.01A
跟用Si基板時的電流比差很多，不知道是這邊出了問題
還是有什麼地方需要注意，請教各位了
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1F：→ qpiy: 要不要考慮不退火看看? 02/10 02:33
2F：推 PhantomMinds: 想請問一下 你這樣鍍多久 02/21 15:05
3F：→ manf1avor: 有500度退火 三小時 大概鍍一小多吧 03/21 11:43
4F：推 angerenergy: 大電流兩個原因，面積變大了 二，根本沒長氧化鋁 你 07/06 00:52
5F：→ angerenergy: 可能在長氧化矽 想問你有把試片包好只露出鋁的部分 07/06 00:52
6F：→ angerenergy: 嗎？ 就算包好也有可能會有電解液滲漏 可以檢查一下 07/06 00:52
7F：→ angerenergy: 想問你用什麼酸 工作溫度 我在做高壓很常短路 或許 07/06 00:52
8F：→ angerenergy: 可以幫你解答 07/06 00:52