作者manf1avor (树林陈冠希)
看板NEMS
标题[问题] 请教关於AAO阳极氧化铝制作
时间Fri Feb 6 12:12:36 2015
我想要请教一下各位关於AAO制作的问题
我的制作程序是
我是用Si当基板，接着热蒸镀一层Ti再镀一层Al
镀率是0.6nm/s 100微米厚 / 0.5nm/s 700微米厚
接着再做500度的退火3小时
但是总是在要做第一次阳极氧化时镀层就掉光光了
现在观察到的情况是我用30V时的电流会很大
但我调电压至10V电流也有0.3A接着也很快地就掉光
之前有用纯铝片30V去做过那时候电流大概是0.01A
跟用Si基板时的电流比差很多，不知道是这边出了问题
还是有什麽地方需要注意，请教各位了
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1F：→ qpiy: 要不要考虑不退火看看? 02/10 02:33
2F：推 PhantomMinds: 想请问一下 你这样镀多久 02/21 15:05
3F：→ manf1avor: 有500度退火 三小时 大概镀一小多吧 03/21 11:43
4F：推 angerenergy: 大电流两个原因，面积变大了 二，根本没长氧化铝 你 07/06 00:52
5F：→ angerenergy: 可能在长氧化矽 想问你有把试片包好只露出铝的部分 07/06 00:52
6F：→ angerenergy: 吗？ 就算包好也有可能会有电解液渗漏 可以检查一下 07/06 00:52
7F：→ angerenergy: 想问你用什麽酸 工作温度 我在做高压很常短路 或许 07/06 00:52
8F：→ angerenergy: 可以帮你解答 07/06 00:52