作者linyenchi (chi)
看板NEMS
標題Re: [問題] 請教AZ4620 線寬10um 的黃光參數
時間Sat Jan 3 01:57:41 2015
※ 引述《XG00GX (XG00GX)》之銘言：
: 曝光機: 274W
: 厚度:8um(3000rpm/s 40sec)
: 軟烤:95度 5min
: 曝光:60sec
: 顯影:2min 15sec
: 顯影液:EPG1000
: 結果:線寬為10um的數字形狀沒顯現出來
: 有調整過參數 但是都沒成功
: 希望有試過的大大 可以分享 謝謝
有知道曝光劑量多少嗎？我們實驗室用的同型號光阻厚度5micro多 時間五秒而已 沒圖案
有可能是過曝或過顯（我們顯影時間10秒） 另外顯影液應該是有配對的 可試試AZ400k
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