作者linyenchi (chi)
看板NEMS
标题Re: [问题] 请教AZ4620 线宽10um 的黄光参数
时间Sat Jan 3 01:57:41 2015
※ 引述《XG00GX (XG00GX)》之铭言：
: 曝光机: 274W
: 厚度:8um(3000rpm/s 40sec)
: 软烤:95度 5min
: 曝光:60sec
: 显影:2min 15sec
: 显影液:EPG1000
: 结果:线宽为10um的数字形状没显现出来
: 有调整过参数 但是都没成功
: 希望有试过的大大 可以分享 谢谢
有知道曝光剂量多少吗？我们实验室用的同型号光阻厚度5micro多 时间五秒而已 没图案
有可能是过曝或过显（我们显影时间10秒） 另外显影液应该是有配对的 可试试AZ400k
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 220.132.87.190
※ 文章网址: http://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1420221463.A.B5B.html