作者john11894324 (不要叫我大蘋果)
看板NEMS
標題[問題] 電子束蒸鍍金屬
時間Thu Dec 25 20:49:40 2014
最近蒸鍍金屬發生了一些問題...
照以往的手法蒸鍍金屬，但發現到金屬容易剝落...
以ACE→IPA→DI Water震盪器清洗，金屬幾乎剝落光了
大概有甚麼原因可能導致這樣的情況?
我目前猜得到的就是靶材(氧化或特定金屬)、鍍率
還有其他可能原因嗎?
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※ 編輯: john11894324 (1.169.55.98), 12/25/2014 20:58:38
1F：推 skyghostlove: 黃光出問題影響較大,其次是鍍率 & 溫度.你認為鍍 12/26 07:31
2F：→ skyghostlove: 率出問題,拿一片母片(未上光阻的片子)放在一旁一起 12/26 07:32
3F：→ skyghostlove: 鍍.再拿去一起震盪.不就知道結果了.因素這樣多,建議 12/26 07:34
4F：→ skyghostlove: 先把鍍率調賣慢些.看是否是黃光出問題.我之前做實驗 12/26 07:35
5F：→ skyghostlove: 都白做工很多.只能說都是經驗. 12/26 07:35
6F：→ skyghostlove: 我的判斷原則:黃光>鍍率>氧化因素>蒸鍍腔體潔淨度 12/26 07:37
7F：→ skyghostlove: 黃光是否錯誤,顯微鏡下一目了然.至於有些金屬會掉 12/26 07:38
8F：→ skyghostlove: 還要考慮到片子表面粗糙度影響(SEM可判斷) 12/26 07:38
9F：→ skyghostlove: 希望這些訊息能幫到你 12/26 07:39
10F：→ john11894324: 恩，大概了解了 12/29 18:10
11F：→ john11894324: 謝謝樓上 12/29 18:10
12F：推 Narcissuss: 先度ni. or cr 01/19 05:36