作者john11894324 (不要叫我大苹果)
看板NEMS
标题[问题] 电子束蒸镀金属
时间Thu Dec 25 20:49:40 2014
最近蒸镀金属发生了一些问题...
照以往的手法蒸镀金属，但发现到金属容易剥落...
以ACE→IPA→DI Water震荡器清洗，金属几乎剥落光了
大概有甚麽原因可能导致这样的情况?
我目前猜得到的就是靶材(氧化或特定金属)、镀率
还有其他可能原因吗?
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 1.169.55.98
※ 文章网址: http://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1419511782.A.883.html
※ 编辑: john11894324 (1.169.55.98), 12/25/2014 20:58:38
1F：推 skyghostlove: 黄光出问题影响较大,其次是镀率 & 温度.你认为镀 12/26 07:31
2F：→ skyghostlove: 率出问题,拿一片母片(未上光阻的片子)放在一旁一起 12/26 07:32
3F：→ skyghostlove: 镀.再拿去一起震荡.不就知道结果了.因素这样多,建议 12/26 07:34
4F：→ skyghostlove: 先把镀率调卖慢些.看是否是黄光出问题.我之前做实验 12/26 07:35
5F：→ skyghostlove: 都白做工很多.只能说都是经验. 12/26 07:35
6F：→ skyghostlove: 我的判断原则:黄光>镀率>氧化因素>蒸镀腔体洁净度 12/26 07:37
7F：→ skyghostlove: 黄光是否错误,显微镜下一目了然.至於有些金属会掉 12/26 07:38
8F：→ skyghostlove: 还要考虑到片子表面粗糙度影响(SEM可判断) 12/26 07:38
9F：→ skyghostlove: 希望这些讯息能帮到你 12/26 07:39
10F：→ john11894324: 恩，大概了解了 12/29 18:10
11F：→ john11894324: 谢谢楼上 12/29 18:10
12F：推 Narcissuss: 先度ni. or cr 01/19 05:36