作者patrick20721 (成大KG)
看板NEMS
標題[問題] TiSi2該如何蝕刻
時間Fri Dec 19 15:24:25 2014
原先經過離子佈值的片子應該先anneal
可是忘記這個步驟
先將片子蒸鍍上Ti才anneal
查資料發現這樣Ti和Si接處會產生TiSi2
已知鹽酸可以將上層Ti清除
想請問有什麼辦法可以將TiSi2清除?
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1F：→ beamanok: 嫩 10/15 16:33