作者patrick20721 (成大KG)
看板NEMS
标题[问题] TiSi2该如何蚀刻
时间Fri Dec 19 15:24:25 2014
原先经过离子布值的片子应该先anneal
可是忘记这个步骤
先将片子蒸镀上Ti才anneal
查资料发现这样Ti和Si接处会产生TiSi2
已知盐酸可以将上层Ti清除
想请问有什麽办法可以将TiSi2清除?
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