作者kiouy1001 (阿比)
看板NEMS
標題ICP乾蝕刻
時間Mon Dec 1 23:44:53 2014
大家好.
本魯第一次來這發文,
想請教一些專業上的問題
小弟最近在做一個題目
是關於乾蝕刻ICP通入CL2
因為要做Etch Mask所以要很硬很不會被cl2吃的金屬
請位除了Pt,Ni,Ti,Sio2,Al,Au
還有比這些還硬的金屬嗎?
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1F：推 kerkerker: 我們有用過烤乾的光阻來擋 12/15 17:50
2F：→ kingice1016: Zr W 12/19 01:28