作者kiouy1001 (阿比)
看板NEMS
标题ICP乾蚀刻
时间Mon Dec 1 23:44:53 2014
大家好.
本鲁第一次来这发文,
想请教一些专业上的问题
小弟最近在做一个题目
是关於乾蚀刻ICP通入CL2
因为要做Etch Mask所以要很硬很不会被cl2吃的金属
请位除了Pt,Ni,Ti,Sio2,Al,Au
还有比这些还硬的金属吗?
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1F：推 kerkerker: 我们有用过烤乾的光阻来挡 12/15 17:50
2F：→ kingice1016: Zr W 12/19 01:28