※ 引述《az200522 (喀拉喀拉)》之銘言： : 標題: [問題] 購買靶材 : 時間: Thu Nov 27 15:01:03 2014 : : 這幾天購買靶材， : 想買N或P -Si 靶， : 規格濃度要多少， : 或者阻值約為多少，: : 可是很多業務員都說沒有在分濃度阻值， : 只有跟我說純度多少而已， : 請問一下， : 是我問法問錯了嗎？ : 謝謝。 : : -- :

※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 49.214.87.255 : ※ 文章網址: http://webptt.com/m.aspx?n=bbs/NEMS/M.1417071665.A.861.html : → SkyLark2001: 你要問的是基板不是靶材 11/27 16:40 : → az200522: !!! 11/27 17:23 : → az200522: 基板？我是要裝在濺鍍機裡的。 11/27 17:23 既然確定你要買的是target，那你要做的事情是把以下這兩個網頁丟給業務 他們就會幫你去定訂 http://tinyurl.com/m7u93yu http://tinyurl.com/kxybzwk 不過還是提醒一句，不確定跟你的目的有沒有關係 sputter的原理是用鈍氣離子轟擊把target的原子撞出來， 再用擴散方式沉積到substarte表面。所以長出來的膜是屬於機械性質跟電性取決於 膜本身的micro structure, 膜的micro strcuture決定因素是跟substrate temperature, gas flux, substrate的表面缺陷等等。 換句話說是你精挑細選的target dopping濃度跟阻值，sputter鍍出來根本 不是那麼一回事。這也就是為什麼市面上不容易找特別訂製的特殊濃度阻值的 silicon target，你問業務他們也都不清楚。 再換句話說，sputter鍍膜有那麼好用可以決定silicon dopping濃度阻值的話， 所有晶圓廠的EPI 跟DIF Modlue都可以洗洗睡了 : 推 dandanboy234: 誰說沒有Si靶材的阿 11/27 21:24 : → nevinyrrals: sputter打出來的膜跟你靶材裡的成分比例不一定一致 11/28 19:59 --

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