※ 引述《az200522 (喀拉喀拉)》之铭言： : 标题: [问题] 购买靶材 : 时间: Thu Nov 27 15:01:03 2014 : : 这几天购买靶材， : 想买N或P -Si 靶， : 规格浓度要多少， : 或者阻值约为多少，: : 可是很多业务员都说没有在分浓度阻值， : 只有跟我说纯度多少而已， : 请问一下， : 是我问法问错了吗？ : 谢谢。 : : -- :

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 49.214.87.255 : ※ 文章网址: http://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1417071665.A.861.html : → SkyLark2001: 你要问的是基板不是靶材 11/27 16:40 : → az200522: !!! 11/27 17:23 : → az200522: 基板？我是要装在溅镀机里的。 11/27 17:23 既然确定你要买的是target，那你要做的事情是把以下这两个网页丢给业务 他们就会帮你去定订 http://tinyurl.com/m7u93yu http://tinyurl.com/kxybzwk 不过还是提醒一句，不确定跟你的目的有没有关系 sputter的原理是用钝气离子轰击把target的原子撞出来， 再用扩散方式沉积到substarte表面。所以长出来的膜是属於机械性质跟电性取决於 膜本身的micro structure, 膜的micro strcuture决定因素是跟substrate temperature, gas flux, substrate的表面缺陷等等。 换句话说是你精挑细选的target dopping浓度跟阻值，sputter镀出来根本 不是那麽一回事。这也就是为什麽市面上不容易找特别订制的特殊浓度阻值的 silicon target，你问业务他们也都不清楚。 再换句话说，sputter镀膜有那麽好用可以决定silicon dopping浓度阻值的话， 所有晶圆厂的EPI 跟DIF Modlue都可以洗洗睡了 : 推 dandanboy234: 谁说没有Si靶材的阿 11/27 21:24 : → nevinyrrals: sputter打出来的膜跟你靶材里的成分比例不一定一致 11/28 19:59 --

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