作者az200522 (喀拉喀拉)
看板NEMS
標題[問題] 購買靶材
時間Thu Nov 27 15:01:03 2014
這幾天購買靶材，
想買N或P -Si 靶，
規格濃度要多少，
或者阻值約為多少，
可是很多業務員都說沒有在分濃度阻值，
只有跟我說純度多少而已，
請問一下，
是我問法問錯了嗎？
謝謝。
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1F：→ SkyLark2001: 你要問的是基板不是靶材 11/27 16:40
2F：→ az200522: !!! 11/27 17:23
3F：→ az200522: 基板？我是要裝在濺鍍機裡的。 11/27 17:23
4F：推 dandanboy234: 誰說沒有Si靶材的阿 11/27 21:24
5F：→ nevinyrrals: sputter打出來的膜跟你靶材裡的成分比例不一定一致 11/28 19:59