作者az200522 (喀拉喀拉)
看板NEMS
标题[问题] 购买靶材
时间Thu Nov 27 15:01:03 2014
这几天购买靶材,
想买N或P -Si 靶,
规格浓度要多少,
或者阻值约为多少,
可是很多业务员都说没有在分浓度阻值,
只有跟我说纯度多少而已,
请问一下,
是我问法问错了吗?
谢谢。
--
Sent from my Android
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 49.214.87.255
※ 文章网址: http://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1417071665.A.861.html
1F:→ SkyLark2001: 你要问的是基板不是靶材 11/27 16:40
2F:→ az200522: !!! 11/27 17:23
3F:→ az200522: 基板?我是要装在溅镀机里的。 11/27 17:23
4F:推 dandanboy234: 谁说没有Si靶材的阿 11/27 21:24
5F:→ nevinyrrals: sputter打出来的膜跟你靶材里的成分比例不一定一致 11/28 19:59