作者captdavince (走自己的路)
看板NEMS
標題[問題] optic fabrication spin coating
時間Wed Nov 12 22:49:05 2014
大家好
小弟我目前在思考要做一個mask，沒有很多無塵室經驗
想要請教一下各位
我需要使用quartz的基板，或者是別的高平整的基板
在上面需要microfabricate chromium pattern.
目前大概會用PR->develop->sputter後remove PR
目前我是擔心在spin coating PR的時候，會不會刮傷 quartz呢?
還是說有什麼方法可以保護鏡片的另外一面呢?
謝謝各位
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1F：推 Jinuse: 主要研究室做光罩?線寬很小?為何要用quartz?送代工如何? 11/13 00:35
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