作者anthon555 (彥)
看板NEMS
標題[問題] 乾蝕刻白金
時間Thu Oct 30 21:44:23 2014
請問有哪邊的實驗室或高手有蝕刻過白金的經驗嗎?
有試過交大奈米中心 跟 清大奈材，不過這兩邊Cl2常壞掉，還是有在使用這兩邊儀器
實驗室願意分享一下經驗。
可以的話，我在站內信詢問一下。
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