作者anthon555 (彦)
看板NEMS
标题[问题] 乾蚀刻白金
时间Thu Oct 30 21:44:23 2014
请问有哪边的实验室或高手有蚀刻过白金的经验吗?
有试过交大奈米中心 跟 清大奈材，不过这两边Cl2常坏掉，还是有在使用这两边仪器
实验室愿意分享一下经验。
可以的话，我在站内信询问一下。
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