作者as00165158 (lucky)
看板NEMS
標題[問題] AZ GXR系列稀釋液的問題
時間Tue Sep 30 11:25:05 2014
如題所說
最近在做奈米球微影
目前因為AZ(GXR系列)膜厚太厚而困擾
查詢文獻看到有些PAPPER 有提到將AZ稀釋使膜厚變薄
所以想問"AZ GXR系列的稀釋液"有哪些選擇、哪些廠商有及稀釋比例 ?
有打電話詢問景明化工幫忙查詢 但他說貨到也要幾周時間
但這樣的話會被老闆殺頭的
各位大大 我第一次在此推文
如有違反規定再請寄信通知我
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1F：推 jeffdon2: data sheet基本上都會註明該光阻的溶劑是甚麼，買一樣的 09/30 18:23
2F：→ jeffdon2: 化學品即可 09/30 18:24
3F：→ jeffdon2: 像SU8也有專用的thinner，但是我們自己買環戊酮(SU8溶劑 09/30 18:26
4F：→ jeffdon2: 稀釋使用，效果基本上差不了多少 09/30 18:27