作者as00165158 (lucky)
看板NEMS
标题[问题] AZ GXR系列稀释液的问题
时间Tue Sep 30 11:25:05 2014
如题所说
最近在做奈米球微影
目前因为AZ(GXR系列)膜厚太厚而困扰
查询文献看到有些PAPPER 有提到将AZ稀释使膜厚变薄
所以想问"AZ GXR系列的稀释液"有哪些选择、哪些厂商有及稀释比例 ?
有打电话询问景明化工帮忙查询 但他说货到也要几周时间
但这样的话会被老板杀头的
各位大大 我第一次在此推文
如有违反规定再请寄信通知我
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1F：推 jeffdon2: data sheet基本上都会注明该光阻的溶剂是甚麽，买一样的 09/30 18:23
2F：→ jeffdon2: 化学品即可 09/30 18:24
3F：→ jeffdon2: 像SU8也有专用的thinner，但是我们自己买环戊酮(SU8溶剂 09/30 18:26
4F：→ jeffdon2: 稀释使用，效果基本上差不了多少 09/30 18:27