請問一下 我的母模wafer圖案是 一排個凹下去的洞40umx40um中間有一個一個凸起來 長寬高=40x4x30um的長方形 所以我翻起來的圖案 是一排40x40um的正方形中間有一個寬4um的凹槽30um深 但我現在遇到問題是 在我翻完母模後，我去看sem有一半以上wafer 4um 的凸起都斷掉了 我確認再翻模前我的wafer是正常的 所以問題應該是翻模過程中損壞我的wafer 不知道有沒有人遇過類似的問題或建議?? 我pdms製成是 我用piraha洗我的wafer,烤乾後把母模放到烤盤，滴上silane加熱110C，30min 到入10:1的pdms，抽完真空後烤150C，15min，放涼後直接用手翻 不知道有沒有甚麼能夠改善我翻模損壞母模的問題?? 目前的想法是如果考硬一點不知道會不會有幫助 麻煩大家了謝謝 --

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