请问一下 我的母模wafer图案是 一排个凹下去的洞40umx40um中间有一个一个凸起来 长宽高=40x4x30um的长方形 所以我翻起来的图案 是一排40x40um的正方形中间有一个宽4um的凹槽30um深 但我现在遇到问题是 在我翻完母模後，我去看sem有一半以上wafer 4um 的凸起都断掉了 我确认再翻模前我的wafer是正常的 所以问题应该是翻模过程中损坏我的wafer 不知道有没有人遇过类似的问题或建议?? 我pdms制成是 我用piraha洗我的wafer,烤乾後把母模放到烤盘，滴上silane加热110C，30min 到入10:1的pdms，抽完真空後烤150C，15min，放凉後直接用手翻 不知道有没有甚麽能够改善我翻模损坏母模的问题?? 目前的想法是如果考硬一点不知道会不会有帮助 麻烦大家了谢谢 --

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