作者XG00GX (XG00GX)
看板NEMS
標題[問題] 請教AZ4620 線寬10um 的黃光參數
時間Thu Aug 14 22:46:21 2014
曝光機: 274W
厚度:8um(3000rpm/s 40sec)
軟烤:95度 5min
曝光:60sec
顯影:2min 15sec
顯影液:EPG1000
結果:線寬為10um的數字形狀沒顯現出來
有調整過參數 但是都沒成功
希望有試過的大大 可以分享 謝謝
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1F：推 tommy90644: 曝光要這麼久?~AZ4620顯影液我們是和DI水配 沒再用純 08/14 23:22
2F：→ tommy90644: 的 顯影液的型號你有確定? 08/14 23:23
3F：→ wgjfish: 你軟烤時間有些久耶! 你先試試都不曝光的情況下可不可以 09/02 18:05
4F：→ wgjfish: 更正 應該是都曝光 看光阻是否能顯掉 09/02 18:06
5F：推 s75287: 274W @_@ 09/06 00:09