作者XG00GX (XG00GX)
看板NEMS
标题[问题] 请教AZ4620 线宽10um 的黄光参数
时间Thu Aug 14 22:46:21 2014
曝光机: 274W
厚度:8um(3000rpm/s 40sec)
软烤:95度 5min
曝光:60sec
显影:2min 15sec
显影液:EPG1000
结果:线宽为10um的数字形状没显现出来
有调整过参数 但是都没成功
希望有试过的大大 可以分享 谢谢
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1F：推 tommy90644: 曝光要这麽久?~AZ4620显影液我们是和DI水配 没再用纯 08/14 23:22
2F：→ tommy90644: 的 显影液的型号你有确定? 08/14 23:23
3F：→ wgjfish: 你软烤时间有些久耶! 你先试试都不曝光的情况下可不可以 09/02 18:05
4F：→ wgjfish: 更正 应该是都曝光 看光阻是否能显掉 09/02 18:06
5F：推 s75287: 274W @_@ 09/06 00:09