作者zxc1542003 (...)
看板NEMS
標題[問題] 想詢問熱蒸鍍
時間Wed Jul 16 21:38:11 2014
如同標題
最近在使用熱蒸鍍機
在矽晶片上先鍍上鈦
再鍍上銅
但是會發現到使用耐熱膠帶測試其黏著性時
銅會很容易的被膠帶撕下來
然而鈦是附著在矽晶片上的
所以試了幾次都無法成功
也調整過鍍的速率和厚度
想請問板上的大大
能否提供我一些意見
因為熱蒸鍍的相關資料不是很多
所以麻煩板上的大大能提供一些想法
或者是哪邊可能需要改變之類的
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1F：→ zxc1542003:拜託各位大大 07/26 16:36
2F：推 rainstonein:鍍完有沒有做熱退火阿 07/26 20:35
3F：→ zxc1542003:沒有耶 只有讓它冷卻約半小時 07/31 17:26
4F：推 bbdd203: 銅不管怎麼鍍附著力都不好吧..何況你還用膠帶撕.. 08/14 22:17
5F：→ zxc1542003: 可是就是需要鍍銅耶，有什麼方法嗎 一定需要用到熱蒸 08/23 16:36
6F：→ zxc1542003: 鍍 08/23 16:36
7F：→ wkc0908: 可以做一個遮罩去鍍你的wafer 09/05 19:11