作者theRose (玫瑰)
看板NEMS
標題[問題] 光阻lift off的方法
時間Sat Jul 12 22:19:32 2014
感覺是常見的問題 但是還是跟大家請教一下
我之前的樣品 不論e-beam或sputter做完 要lift off
都是用丙酮超音波震洗的方式 沒什麼問題
不過現在在做的device 沒有辦法用超音波震
爬文之後有看到用毛筆的 但不是很了解做法
想要詳細請教一下
所謂的毛筆就是一般寫書法的毛筆嗎？？ 有什麼特別講究的嗎？
做法就是直接泡在丙酮裡用毛筆去刷就好嗎？
我用的線寬還蠻大的 最小的地方也有500um 光阻是az1500
謝謝
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1F：→ bear100:500um很好弄 ACE先泡久一點 再用大棉棒輕輕點就好了 07/13 23:20
2F：→ bear100:不然可以用有噴嘴的ACE用噴的就夠 07/13 23:20
3F：→ skyghostlove:棉棒清除朝同一方向推過去就好了,或是說利用LOR也行, 08/01 00:22