作者theRose (玫瑰)
看板NEMS
标题[问题] 光阻lift off的方法
时间Sat Jul 12 22:19:32 2014
感觉是常见的问题 但是还是跟大家请教一下
我之前的样品 不论e-beam或sputter做完 要lift off
都是用丙酮超音波震洗的方式 没什麽问题
不过现在在做的device 没有办法用超音波震
爬文之後有看到用毛笔的 但不是很了解做法
想要详细请教一下
所谓的毛笔就是一般写书法的毛笔吗？？ 有什麽特别讲究的吗？
做法就是直接泡在丙酮里用毛笔去刷就好吗？
我用的线宽还蛮大的 最小的地方也有500um 光阻是az1500
谢谢
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1F：→ bear100:500um很好弄 ACE先泡久一点 再用大棉棒轻轻点就好了 07/13 23:20
2F：→ bear100:不然可以用有喷嘴的ACE用喷的就够 07/13 23:20
3F：→ skyghostlove:棉棒清除朝同一方向推过去就好了,或是说利用LOR也行, 08/01 00:22