作者nasa01 (123)
看板NEMS
標題[問題] SU-8 50 內縮
時間Tue May 20 18:31:50 2014
搜尋了一下
243這篇 有提到不易附著
不易附著基本上SKY大說泡BOE可以改善
想問一下
今天製作的5片 是新的wafer
丙酮清洗完後 泡BOE 30 秒
然後DI water清洗後烤乾
塗布 SU8-50 (我是用800轉~做出來大概是125um)
但塗布完之後..軟烤五分鐘就開始內縮了 (先65度烤10分鐘)
另外 軟烤當下看會皺皺的? (有人也會嗎?)
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 203.64.97.123
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※ 編輯: nasa01 (203.64.97.123), 05/20/2014 18:32:25
1F：推 SkyLark2001:我之前遇過，不清楚導致原因，同一匹處理方式一樣的 05/21 16:21
2F：→ SkyLark2001:wafer有些會發生有些不會，所以只能憑運氣 幸好我發 05/21 16:21
3F：→ SkyLark2001:生的機率不大，遇到後洗掉重塗也就勉強過得去了 05/21 16:22