作者nasa01 (123)
看板NEMS
标题[问题] SU-8 50 内缩
时间Tue May 20 18:31:50 2014
搜寻了一下
243这篇 有提到不易附着
不易附着基本上SKY大说泡BOE可以改善
想问一下
今天制作的5片 是新的wafer
丙酮清洗完後 泡BOE 30 秒
然後DI water清洗後烤乾
涂布 SU8-50 (我是用800转~做出来大概是125um)
但涂布完之後..软烤五分钟就开始内缩了 (先65度烤10分钟)
另外 软烤当下看会皱皱的? (有人也会吗?)
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 203.64.97.123
※ 文章网址: http://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/NEMS/M.1400581913.A.530.html
※ 编辑: nasa01 (203.64.97.123), 05/20/2014 18:32:25
1F：推 SkyLark2001:我之前遇过，不清楚导致原因，同一匹处理方式一样的 05/21 16:21
2F：→ SkyLark2001:wafer有些会发生有些不会，所以只能凭运气 幸好我发 05/21 16:21
3F：→ SkyLark2001:生的机率不大，遇到後洗掉重涂也就勉强过得去了 05/21 16:22