除非你使用的曝光機有加上filter 不然一般曝光機所使用的汞燈產生的並非單一波長(雷射才有單一波長的特性) 光譜如圖所示 http://tinyurl.com/akn2b9g 365nm(i-line), 405nm(h-line), 436nm(g-line)這幾個peak都是學界最普遍使用的 曝光波長 建議謹慎點可以請無塵室的管理人員使用power meter測量 365nm波長對應的的光強度 隨手之勞而以 ※ 引述《hsnulight (台大東方翔)》之銘言： : 如題 : 最近想使用NR9-1000P此款光阻做為擋罩 : 蝕刻出線寬約3~4um的電極 : 看了一下官方的資料是說 1um的光阻只需要 21 mJ/cm^2 for 365nm : 目前所使用的曝光機是 10 mJ/cm^2 不過是405nm : 這樣看起來如果我的光阻厚度是1.5um的話只需要曝3秒左右嗎? : 因為沒有曝過這麼短時間 : 不知道有沒有人使用過此款光阻呢 -- 本球隊一切依法行政，謝謝指教。 --

※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 205.175.124.160 ※ 文章網址: http://webptt.com/m.aspx?n=bbs/NEMS/M.1398663264.A.5A9.html