除非你使用的曝光机有加上filter 不然一般曝光机所使用的汞灯产生的并非单一波长(雷射才有单一波长的特性) 光谱如图所示 http://tinyurl.com/akn2b9g 365nm(i-line), 405nm(h-line), 436nm(g-line)这几个peak都是学界最普遍使用的 曝光波长 建议谨慎点可以请无尘室的管理人员使用power meter测量 365nm波长对应的的光强度 随手之劳而以 ※ 引述《hsnulight (台大东方翔)》之铭言： : 如题 : 最近想使用NR9-1000P此款光阻做为挡罩 : 蚀刻出线宽约3~4um的电极 : 看了一下官方的资料是说 1um的光阻只需要 21 mJ/cm^2 for 365nm : 目前所使用的曝光机是 10 mJ/cm^2 不过是405nm : 这样看起来如果我的光阻厚度是1.5um的话只需要曝3秒左右吗? : 因为没有曝过这麽短时间 : 不知道有没有人使用过此款光阻呢 -- 本球队一切依法行政，谢谢指教。 --

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